硅烷的主流生產工藝是什么？硅烷在現代高科技中應用廣泛，而且越來越重要。硅烷已經成為半導體微電子技術中最重要的特殊氣體。用于制備各種微電子薄膜，硅烷可以制備單晶硅、多晶硅、非晶硅、金屬硅化物、氮化硅、碳化硅、氧化硅等一系列含硅物質。在硅烷的整個生產過程中，為避免硅烷泄漏積聚發生燃爆事故，需要在現場安裝使用硅烷氣體泄漏濃度報警器。 硅烷的主流生產工藝:
三氯氫硅歧化法，該工藝主要是硅烷的制備方法。四氯化硅氫化生成三氯氫硅，然后三氯氫硅歧化生成二氯二氫硅，二氯二氫硅再次歧化生成硅烷。高氯化硅烷通過帶有催化床的反應器逐步發生歧化反應，最終得到SiH4和SiCI4。制備歧化四硅的關鍵設備是催化床反應器。由于歧化反應的轉化率受化學平衡的制約，這種情況要求及時將反應物與未反應的原料分離，以達到整個過程完全轉化的目的。

三氯氫硅歧化制硅烷的主要特點:
1、歧化反應在塔式反應器中進行，非常適合大規模生產，生產效率高，能耗低，成本低；
2、整個系統閉路循環，排放少，有利于環保，材料利用率高；
3、反應產物易于與硅烷分離，可獲得高純度的硅烷(9-11n)；
4、硅烷精餾剩余的各種硅鹽酸鹽可返回歧化塔進行反應；
5、反應條件溫和，能耗低，易于操作和控制；
6、可生產硅烷、四氯化硅、二氯硅烷等多種硅源材料。，并可隨機搭配產品比例。

硅烷是一種非常活潑的壓縮氣體，與空氣接觸可能自燃，與空氣混合形成爆炸性混合物。當加熱或燃燒時，硅烷分解產生硅和氫。同時硅烷也是一種強還原劑，與氧化劑反應，與水緩慢反應，與氫氧化鉀溶液和鹵素反應，在6000℃分解成晶體硅，硅烷具有揮發性，其揮發性蒸氣屬于易燃易爆氣體。無色無味，泄露后不易被發現。遇高溫、電弧、火花和明火有爆炸危險。

以采用進口高精度氣體傳感器的ERUN-PG51SH4固定在線式硅烷氣體檢測報警儀為例，可以同時檢測并顯示硅烷氣體的濃度值，超標聲光報警，并聯鎖自動控制排氣風機的啟停，測量數據結果可通過分線制4-20 mA模擬信號量或總線制RS 485（Modbus RTU）數字量信號以及無線模式傳輸，通過ERUN-PG36E氣體報警控制器在值班室實時顯示硅烷的濃度值，并相應的觸發報警動作。 固定在線式硅烷氣體檢測報警儀技術參數：
產品型號：EERUN-PG51SH4
檢測氣體：硅烷SiH4
量程分辨率： 精度誤差：≤±2%F.S.（更高精度可訂制）
顯示方式：報警器1.7寸彩屏現場顯示濃度值；控制器主機9寸彩屏值班室顯示濃度值
報警方式：現場聲光報警，值班室聲光報警
數據傳輸：4-20mA、RS485，可選無線傳輸
防護功能：IP65級防水防塵
防爆功能：隔爆型，Ex d ⅡC T6 Gb級防爆
 
以上就是關于硅烷的主流生產工藝是什么的相關介紹，硅烷是一種高附加值的精細化學品，廣泛應用于電子和半導體行業。基于三氯氫硅歧化工藝基本思想的氫氯化和脫氯工藝符合大規模化工生產，成本低，環境污染小。適用于多晶硅企業產業鏈的拓展和副產品的回收，以及三氯氫硅工廠產品鏈的拓展，這是未來中國多晶硅和三氯氫硅企業的首選方式。不過在整個生產過程中的現場安裝使用硅烷氣體泄漏濃度報警器可以實現連續實時在線監測環境空氣中泄漏積聚的硅烷氣體的濃度值，以免發生燃爆等事故。