六氟化硫SF6微水露點儀主要是用來檢測高壓變壓器、高壓開關柜、高壓斷路器等電力設備以及化學氣相沉積室的清洗劑和等離子蝕刻劑等電子工業中的六氟化硫SF6的微量水蒸氣濕度的濃度值。SF6微水儀主要可以分為固定在線式和便攜手持式兩種類型，采用高分子薄膜電容法原理，可以快速準確檢測出六氟化硫SF6中的微量水分含量。六氟化硫濕度水分露點儀可以同時檢測并顯示六氟化硫SF6的露點溫度、ppmv體積比、g/m3絕對水含量，廣泛適用于氟與硫直接反應并經過精制的工業六氟化硫中濕度水分露點溫度的檢測。